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    LED步进式光刻机

    LED步进式光刻机

    产品特点 适用于4-6英寸基底LED硅芯片/蓝宝石芯片生产中的光刻工艺，采用超大曝光视场，大大减少曝光次数，显著提高产能；同时该设备具有高分辨率、高线宽均匀性等特点。 

    产品应用

    应用范围：LED晶圆。

    产品参数

    主要参数加工尺寸4”、6“晶圆
    加工速度4", 137pcs/h
    6", 110pcs/h
    加工精度分辨率2μm L/S
    平台参数定位精度
    X: ±200nm
    Y: ±200nm
    Z: ±350nm
    Rx Ry Rz：10urad
    激光器参数光源：2000W UV Lamp，波长365nm
    感光区域：53*38.5mm
    工作照度：>550mW/cm2(New lamp)
    光源均匀度：≤3%
    Tact time4”：43.1秒(第一片)，循环TT 25.6秒
    6”：49.1秒(第一片)，循环TT 31.6秒
    稼动率>95%


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