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    HDZ-9220

    HDZ-9220

    产品特点 1、应用于半导体晶圆ID标记，兼容6、8吋晶圆产品；
    2、适用于Si/GaAs/SiC等常见的晶圆材料；
    3、全自动作业，配备FFU过滤模块；
    4、配备双臂机械手，可选配SMIF上料模块；
    5、遵循SEMI标准，支持SECS/GEM通讯协议。

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